SIMULATION OF FORMATION OF TOPOLOGICAL STRUCTURES IN VACUUM RESIST LAYERS
Proceedings of the National Academy of Sciences of Belarus. Series of Physical-Technical Sciences
View Archive Info| Field | Value | |
| Title |
SIMULATION OF FORMATION OF TOPOLOGICAL STRUCTURES IN VACUUM RESIST LAYERS
МОДЕЛИРОВАНИЕ ПРОЦЕССА ФОРМИРОВАНИЯ ТОПОЛОГИЧЕСКИХ СТРУКТУР В СЛОЯХ ВАКУУМНОГО РЕЗИСТА |
|
| Creator |
V. Obukhov E.; Physical Technical Institute of the National Academy of Sciences of Belarus
E. Shpak P.; Physical Technical Institute of the National Academy of Sciences of Belarus S. Zhvavyi P.; B. I. Stepanov Institute of Physics of the National Academy of Sciences of Belarus V. Azarko A.; The Institute of Chemistry of New Materials of the National Academy of Sciences of Belarus В. Обухов Е.; Физико-технический институт НАН Беларуси Е. Шпак П.; Физико-технический институт НАН Беларуси С. Жвавый П.; Институт физики им. Б. И. Степанова НАН Беларуси В. Азарко А.; Институт химии новых материалов НАН Беларуси |
|
| Subject |
microlithography; vacuum resist; vacuum projection lithography; microelectronic circuit technology
микролитография; вакуумная проекционная литография; вакуумный резист; технологии ИМС |
|
| Description |
The modeling of formation of topological structures with 3D elements of various sizes and configurations in а vacuum resist exposed to pulsed laser radiation with different energy density was carried out. It was found experimentally that the simulation allows predicting the actual parameters of lithography laser systems for high-quality formation of 3D topology elements in layers of vacuum resist when creating masks.
Изучены методом моделирования процессы формирования топологичеких структур с 3D-элементами различных размеров и конфигурации в слоях вакуумного резиста импульсным лазерным излучением с разной плотностью энергии. Экспериментально установлено, что моделирование позволяет прогнозировать реальные параметры работы установок лазерной вакуумной микролитографии для качественного формирования 3D-элементов топологии в слоях вакуумного резиста при создании масок. |
|
| Publisher |
The Republican Unitary Enterprise Publishing House "Belaruskaya Navuka"
|
|
| Contributor |
—
— |
|
| Date |
2016-08-04
|
|
| Type |
info:eu-repo/semantics/article
info:eu-repo/semantics/publishedVersion — |
|
| Format |
application/pdf
|
|
| Identifier |
http://vestift.belnauka.by/jour/article/view/244
|
|
| Source |
Proceedings of the National Academy of Sciences of Belarus. Series of Physical-Technical Sciences; № 2 (2016); 99-107
Известия Национальной академии наук Беларуси. Серия физико-технических наук; № 2 (2016); 99-107 0002-3566 |
|
| Language |
rus
|
|
| Relation |
http://vestift.belnauka.by/jour/article/view/244/245
|
|
| Rights |
Authors who publish with this journal agree to the following terms:Authors retain copyright and grant the journal right of first publication with the work simultaneously licensed under a Creative Commons Attribution License that allows others to share the work with an acknowledgement of the work's authorship and initial publication in this journal.Authors are able to enter into separate, additional contractual arrangements for the non-exclusive distribution of the journal's published version of the work (e.g., post it to an institutional repository or publish it in a book), with an acknowledgement of its initial publication in this journal.Authors are permitted and encouraged to post their work online (e.g., in institutional repositories or on their website) prior to and during the submission process, as it can lead to productive exchanges, as well as earlier and greater citation of published work (See The Effect of Open Access).
Авторы, публикующие в данном журнале, соглашаются со следующим:Авторы сохраняют за собой авторские права на работу и предоставляют журналу право первой публикации работы на условиях лицензии Creative Commons Attribution License, которая позволяет другим распространять данную работу с обязательным сохранением ссылок на авторов оригинальной работы и оригинальную публикацию в этом журнале.Авторы сохраняют право заключать отдельные контрактные договорённости, касающиеся не-эксклюзивного распространения версии работы в опубликованном здесь виде (например, размещение ее в институтском хранилище, публикацию в книге), со ссылкой на ее оригинальную публикацию в этом журнале.Авторы имеют право размещать их работу в сети Интернет (например в институтском хранилище или персональном сайте) до и во время процесса рассмотрения ее данным журналом, так как это может привести к продуктивному обсуждению и большему количеству ссылок на данную работу (См. The Effect of Open Access). |
|