Formation and prospects of application of film structures with anodizing, sol-gel synthesis and photolithography
Proceedings of the National Academy of Sciences of Belarus. Series of Physical-Technical Sciences
View Archive Info| Field | Value | |
| Title |
Formation and prospects of application of film structures with anodizing, sol-gel synthesis and photolithography
Формирование и перспективы применения пленочных структур с использованием анодирования, золь-гель-синтеза и фотолитографии |
|
| Creator |
N. Gaponenko V.
Н. Гапоненко В.; Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники |
|
| Description |
The results of fabrication of planar structures on the basis of xerogels, generated on porous anodic alumina of diverse morphology, with the use of photolithography without metal mask are presented. Scanning electron microscopy revealed formation of relatively perfect walls of the structures for porous anodic alumina with size of the pores less then 50 nm. The perspectives of application of the structures xerogel/porous anodic alumina in optoelectronics are discussed.
Представлены результаты изготовления планарных структур на основе ксерогелей, сформированных на пористом анодном оксиде алюминия различной морфологии, с применением фотолитографии без металлической маски. Методом растровой электронной микроскопии исследовалась морфология структур ксерогель оксида титана/пористый анодный оксид алюминия, отличающихся размером пор анодного оксида алюминия, после фотолитографии и химического травления. Установлено, что более четкие стенки микроцилиндров и микродисков формируются при использовании пористого анодного оксида алюминия с размером пор менее 50 нм, что обусловлено заполнением пор ксерогелем оксида титана. Изготовлены экспериментальные образцы микроцилиндров на основе пористого анодного оксида алюминия толщиной от 30 до 50 мкм и размером пор 20-25 нм с применением анодирования, золь-гель-метода формирования пленок и фотолитографии. |
|
| Publisher |
The Republican Unitary Enterprise Publishing House "Belaruskaya Navuka"
|
|
| Date |
2016-06-28
|
|
| Type |
info:eu-repo/semantics/article
info:eu-repo/semantics/publishedVersion — |
|
| Format |
application/pdf
|
|
| Identifier |
http://vestift.belnauka.by/jour/article/view/16
|
|
| Source |
Proceedings of the National Academy of Sciences of Belarus. Series of Physical-Technical Sciences; № 1 (2014); 108-111
Известия Национальной академии наук Беларуси. Серия физико-технических наук; № 1 (2014); 108-111 0002-3566 |
|
| Language |
rus
|
|
| Relation |
http://vestift.belnauka.by/jour/article/view/16/17
|
|
| Rights |
Authors who publish with this journal agree to the following terms:Authors retain copyright and grant the journal right of first publication with the work simultaneously licensed under a Creative Commons Attribution License that allows others to share the work with an acknowledgement of the work's authorship and initial publication in this journal.Authors are able to enter into separate, additional contractual arrangements for the non-exclusive distribution of the journal's published version of the work (e.g., post it to an institutional repository or publish it in a book), with an acknowledgement of its initial publication in this journal.Authors are permitted and encouraged to post their work online (e.g., in institutional repositories or on their website) prior to and during the submission process, as it can lead to productive exchanges, as well as earlier and greater citation of published work (See The Effect of Open Access).
Авторы, публикующие в данном журнале, соглашаются со следующим:Авторы сохраняют за собой авторские права на работу и предоставляют журналу право первой публикации работы на условиях лицензии Creative Commons Attribution License, которая позволяет другим распространять данную работу с обязательным сохранением ссылок на авторов оригинальной работы и оригинальную публикацию в этом журнале.Авторы сохраняют право заключать отдельные контрактные договорённости, касающиеся не-эксклюзивного распространения версии работы в опубликованном здесь виде (например, размещение ее в институтском хранилище, публикацию в книге), со ссылкой на ее оригинальную публикацию в этом журнале.Авторы имеют право размещать их работу в сети Интернет (например в институтском хранилище или персональном сайте) до и во время процесса рассмотрения ее данным журналом, так как это может привести к продуктивному обсуждению и большему количеству ссылок на данную работу (См. The Effect of Open Access). |
|