Record Details

RELIABILITY OF PIEZOELECTRIC SCANNERS IN PROBE MICROSCOPY

Dependability

View Archive Info
 
 
Field Value
 
Title RELIABILITY OF PIEZOELECTRIC SCANNERS IN PROBE MICROSCOPY
НАДЕЖНОСТЬ ПЬЕЗОСКАНЕРОВ В ЗОНДОВОЙ МИКРОСКОПИИ
 
Creator V. Vasin A.; Moscow State Institute of Electronics and Mathematics (technical university)
E. Ivashov N.; Moscow State Institute of Electronics and Mathematics (technical university)
S. Stepanchikov V.; Moscow State Institute of Electronics and Mathematics (technical university)
В. Васин А.; Московский государственный институт электроники и математики (технический университет)
Е. Ивашов Н.; Московский государственный институт электроники и математики (технический университет)
С. Степанчиков В.; Московский государственный институт электроники и математики (технический университет)
 
Subject scanning probe microscopy; multifunctional piezoelectric module; reliability of piezoelectric scanner; probability of failure-free operation; relative inaccuracy
сканирующая зондовая микроскопия; многофункциональный пьезомодуль; надёжность пьезосканера; вероятность безотказной работы; относительная погрешность
 
Description The paper considers the issues related to the reliability of systems made up of multifunctional piezoelectric modules which depends on an automated system of control of piezoelectric scanners as a whole (and of individual piezoelectric modules), as well as on the reliability of piezoelectric modules themselves wherein electrical energy converts into mechanical energy.
В статье рассмотрены вопросы надёжности систем из многофункциональных пьезомодулей, которая зависит от системы автоматического управления пьезосканерами в целом (и отдельными пьезомодулями), а также от надёжности работы самих пьезомодулей, в которых реализуется преобразование электрической энергии в механическую.
 
Publisher LLC Journal Dependability
 
Contributor —
—
 
Date 2016-07-05
 
Type info:eu-repo/semantics/article
info:eu-repo/semantics/publishedVersion
—
—
 
Format application/pdf
application/pdf
 
Identifier http://www.dependability.ru/jour/article/view/12
 
Source Dependability; № 1 (2013); 92-114
Надежность; № 1 (2013); 92-114
1729-2646
 
Language rus
eng
 
Relation http://www.dependability.ru/jour/article/view/12/31
http://www.dependability.ru/jour/article/view/12/32
Howland Rebecca, Benatar Lisa. A Practical Guide to Scanning Probe Microscopy / Project Editor and Booklet Designer: Christy Symanski // Copyright 1996 by Park Scientific Ihsnruments. – 76 p.
Быков В.А., Лазарев М.И., Саунин С.А. Сканирующая зондовая микроскопия для науки и промышленности. // Электроника: наука, технология, бизнес, № 5, с. 7 - 14 (1997).
Быков В.А. Сканирующая зондовая микроскопия атомного разрешения и моделирования процессов нанотехнологии // Вторая Международная научно-техническая конференция “Микроэлектроника и информатика”: Тезисы докладов. – Москва-Зеленоград, 23-24 ноября 1995 г. – С. 131.
Быков В.А. Технологии и оборудование для экспериментальных работ в области нанофизики и наноэлектроники// Научная сессия МИФИ – 2010. Сборник научных трудов. – 2010, Т.2. – С.119.
Рабек Я. Экспериментальные методы в фотохимии и фотофизике. В 2-х томах. Т. 1. Пер. с англ. – М.: Мир, 1985. – 608 с.
Сушхара К., Мори И., Тобзе Т., Ито Т., Табста М., Синодзаки Т. Пьезоэлектрический столик с двумя поступательными и одной вращательной степенями свободы для субмикронных литографических систем // Приборы для научных исследований, 1989.
Информационные технологии в проектировании объектов электронного машиностроения: Монография. В 5-ти кн. Кн. 4. В.А. Васин, Е.Н. Ивашов, А.Ю. Павлов, С.В. Степанчиков. Информационная технология в проектировании сканеров зондовых микроскопов. – М.: Издательство НИИ ПМТ, 2011. – 253 с.
Раинкшкс К., Ушаков И.А. Оценка надежности систем с использованием графов. – М.: Радио и связь, 1988.
Клейнрок Л. Теория массового обслуживания. – М.: Машиностроение, 1979.
Слободин М.Ю., Царев Р.Ю. Компьютерная поддержка многоатрибутивных методов выбора и принятий решения при проектировании корпоративных информационно-управляющих систем. – СПб.: Инфо-да, 2004. – 223 с.
 
Rights Authors who publish with this journal agree to the following terms:Authors retain copyright and grant the journal right of first publication with the work simultaneously licensed under a Creative Commons Attribution License that allows others to share the work with an acknowledgement of the work's authorship and initial publication in this journal.Authors are able to enter into separate, additional contractual arrangements for the non-exclusive distribution of the journal's published version of the work (e.g., post it to an institutional repository or publish it in a book), with an acknowledgement of its initial publication in this journal.Authors are permitted and encouraged to post their work online (e.g., in institutional repositories or on their website) prior to and during the submission process, as it can lead to productive exchanges, as well as earlier and greater citation of published work (See The Effect of Open Access).
Авторы, публикующие в данном журнале, соглашаются со следующим:Авторы сохраняют за собой авторские права на работу и предоставляют журналу право первой публикации работы на условиях лицензии Creative Commons Attribution License, которая позволяет другим распространять данную работу с обязательным сохранением ссылок на авторов оригинальной работы и оригинальную публикацию в этом журнале.Авторы сохраняют право заключать отдельные контрактные договорённости, касающиеся не-эксклюзивного распространения версии работы в опубликованном здесь виде (например, размещение ее в институтском хранилище, публикацию в книге), со ссылкой на ее оригинальную публикацию в этом журнале.Авторы имеют право размещать их работу в сети Интернет (например в институтском хранилище или персональном сайте) до и во время процесса рассмотрения ее данным журналом, так как это может привести к продуктивному обсуждению и большему количеству ссылок на данную работу (См. The Effect of Open Access).